SWV系列真空镀膜电源
简介
作为THREETIMES公司的特殊系列产品，SW系列真空镀膜电源设备采用了具有国际先进水平的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术和全密封水冷及其防护专利技术，不仅彻底解决了传统可控硅电源易受腐蚀、电效率低、设备故障多、维修率高等诸多缺点，而且具有品质高、体积小、重量轻、功能多、可靠性高、操作容易,效率高等显著优点，系我公司专门为等离子体应用领域设计的高品质、高技术产品。
SWV 系列真空镀膜电源设备的电源看上去都个头小，重量轻，然当用上后，您会发现在这小设备里有足够强大的功率输出，方便实用的使用功能和极高的可靠性，完全能满足您的要求。
主要产品系列:
SWV-MVD系列逆变偏压电源
主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。是传统直流偏压电源的更新换代产品。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。
主要特点
1． 采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术和全密封水冷及其防护专利技术，具有体积小、重量轻、效率高、功能多、、操作容易运行稳定、噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
2． 具备恒压 、恒流控制及恒功率控制(可选)功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作范围,可在电网电压和负载波动情况下，保证电源高效稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
3． 针对实际工作时存在的频繁打火现象，内部增加了增强型灭弧电路，准确控制灭弧过程.能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏，并且能连续稳定地工作。
4. 电流 、电压、灭弧电平数字显示
5.具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极高
6.内置远程隔离控制接口,可与PLC及计算机远程控制连接
7.可选配RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus、工业以太网等
SW-VD逆变磁控溅射电源
主要用于平衡和非平衡磁控溅射靶的直流磁控溅射、单极性脉冲磁控溅射、中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射，是传统磁控溅射电源的更新换代产品。
主要特点
1. 采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术和全密封水冷及其防护专利技术，具有体积小、重量轻、效率高、功能多、、操作容易运行稳定、噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
2．具备恒压 、恒流控制及恒功率控制升级功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作范围可在电网电压和负载波动情况下，保证电源高效稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
3.针对新靶清洗时存在的存在的频繁打火现象，增加了增强型灭弧电路,灭弧电平无级调节控制及数字显示功能，准确控制灭弧过程.能在频繁打火时充分保护电源及靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．电流 、电压、灭弧电平数字显示主要参数均可大范围连续调节。
6.具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极高
7.内置远程隔离控制接口,可与PLC及计算机远程控制连接
8.可选配RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus、工业以太网等
SW-MF中频孪生靶磁控溅射电源
主要用于中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射，它们是传统磁控溅射电源的更新换代产品.
主要特点
1. 采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术和全密封水冷及其防护专利技术，具有体积小、重量轻、效率高、功能多、、操作容易运行稳定、噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
2．具备恒压 、恒流控制及恒功率控制升级功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作范围可在电网电压和负载波动情况下，保证电源高效稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
3. 中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射,波形正负变化频率可在20-100KHZ(根据工艺选定),有效防止靶”中毒”,提高生产率.
3.针对新靶清洗时存在的存在的频繁打火现象，增加了增强型灭弧电路,灭弧电平无级调节控制及数字显示功能，准确控制灭弧过程.能在频繁打火时充分保护电源及靶面工艺的稳定性.
4．具有增强型起”辉”设置,,可充分满足中频磁控溅射的特殊要求。
5．电流 、电压、数字显示,主要参数均可大范围连续调节。
6.具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极高
7.内置远程隔离控制接口,与PLC及计算机远程控制连接
8.可选配RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus、工业以太网等
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